Das Thermometer mit hohem Temperaturdünnfilm umfasst ein Dünnfilm -Thermoelement und einen Widerstandstemperaturdetektor (RTD). Dünnfilm-Thermoelemente können bei 1 000 ° C verwendet werden, die Thermoelemente drifteten jedoch aufgrund der Oxidation von Germanium im Dünnfilm. Eine Schicht aus Aluminiumoxid -Protecti