Dünnfilm -Thermoelement aus Piezo -Keramikmaterial

Thermoelemente vonpiezoelektrische Material Piezos -Scheibe WandlerKann den großen Unterschieden in der Temperatur und der Wärmeausgabe standhalten. Ein Dünnfilm-Thermoelement besteht aus zwei ItoPiezo Keramikdurch heiße Elektroden (mit unterschiedlichen Ladungsträgerkonzentrationen), die unter 1 200 ° C funktionieren können; IN2O3/ITO-Dünnfilm-Thermoelemente werden auf einem Nickelbasis-Legierungssubstrat hergestellt werden, kann bei einer Temperatur von 1 000 ° C verwendet werden. Es funktioniert unter Bedingungen; Thermoelemente bestehen aus IN2O3: SNO2 (Massenfraktion 95%: 5%) und IN2O3, die einen großen thermoelektrischen Ausgang, eine gute Stabilität und Wiederholbarkeit von Raumtemperatur auf 1 300 ° C aufweisen. Und Haltbarkeit, Überlebenszeit vonpiezoelektrischer Effekt Sensorüberschreitet 50 Stunden; Die thermoelektrische Ausgabe von ITO/Pt -Dünnfilm -Thermoelementen ist von Raumtemperatur bis 1 200 ° C stabil; Nach dem Stickstoff-Dotieren im ITO wird die hohe Temperaturstabilität verbessert, Stickstoff düste ITO-Thermoelemente aus Platin und Platin können den Temperaturen bis zu 1 000 ° C stand In der Raumtemperatur auf 1 000 ° C durch Nikocraly/Aluminiumoxid-Nanokompositen. Thermoelemente aus stickstoff dotiertem ITO haben einen großen Wärmeausgang und können unter 1 200 ° C betrieben werden.

Dünnfilm-Thermoelemente bestehen aus anderen Piezo-Keramikmaterialien können den begrenzten maximalen Betriebstemperaturen standhalten. Die thermoelektrischen Ausgangsdaten von CRSI2/PT -Dünnfilm -Thermoelementen von Raumtemperatur bis 650 ° C sind linear, während die thermischen Ausgangsdaten von TAC/Pt -Dünnfilm -Thermoelementen von Raumtemperatur bis 450 ° C linear sind. Dünnfilm-Thermoelemente bestehen aus sic (cmc) und Platin haben einen großen Seebeck-Koeffizienten, der zwei Größenordnungen höher sind werden an der Schnittstelle zwischen PT und SIC gebildet. Kann nur unter 1 000 ° C verwendet werden; TIC/TAC-Dünnfilmthermoelemente vonPiezos -Scheiben WandlerKann bei Vakuumtemperaturen von 1 350 K verwendet werden. Die Widerstandstemperatur des Dünnschichtdetektors besteht hauptsächlich aus einem Metall- oder Piezo -Keramikmaterial und hat eine relativ einfache Struktur. Platin-Dünnfilm-RTDs betreiben typischerweise die Temperaturen von 20 ° C bis 700 ° C. Goldene RTDs von goldenem Dünnfilm vonpiezoelektrischer Plattensensors Kann die Temperaturen von 20 ° C bis 450 ° C messen. RTDs werden aus ITO hergestellt werden unter 900 ° C, Piezokeramikmaterialien von Dünnschicht-RTDs bestehen aus Sialcn, die für einen langen Zeitraum unter 1 400 ° C stabil betrieben werden können.