Hochtemperaturpiezo -Filmthermometer

Das Thermometer mit hohem Temperaturdünnfilm umfasst ein Dünnfilm -Thermoelement und einen Widerstandstemperaturdetektor (RTD). Dünnfilm-Thermoelemente können bei 1 000 ° C verwendet werden, die Thermoelemente drifteten jedoch aufgrund der Oxidation von Germanium im Dünnfilm. Eine Schicht aus AluminiumoxidschutzPiezo -Scheibenwandlerkann gesputtert werden, um die Oxidation von Germanium zu verringern; PT-13 Rh/Pt-Dünnfilm-Thermoelemente Aufgrund unterschiedlicher Verarbeitungstechniken beträgt der maximale Betriebstemperaturbereich 900 ° C ~ 1 200 ° C; NICR-NIMN-Dünnfilm-ThermoelementPiezo -Scheibenkristallist 400 ° C;

Thermoelemente werden im Allgemeinen verwendet, um die vorübergehenden Temperaturen bis zu einer maximalen Betriebstemperatur von 800 ° C zu messen. Wolfram/Thorium-Dünnfilm-Thermoelement benötigen eine Schutzschicht bei hohen Temperaturen für den normalen Betrieb und2MHz Piezo -Scheiben Kristallkann bei einer Temperatur von 1370 K unter Schutzschichtschutz arbeiten; Ni Das Ni/Cr-Dünnfilm-Thermoelement kann verwendet werden, um die Schnitttemperatur zu überwachen und unter 890 K. Ni/Cr- und Ni-Al-Legierungs-Dünnfilm-Thermoelemente können die Temperatur des Herstellungsprozesses überwachen und werden bei Raumtemperatur verwendet bis 600 ° C; Pt/ PD-Dünnfilm-Thermoelemente vonpiezoelektrischer Plattensensorwerden verwendet, um die Wärmebehandlungstemperatur von Siliziumwafern zu überwachen und 10-20 h bei 850 ° C überleben. Als Oxidkeramik weist ITO -Keramikmaterial Eigenschaften von Hochtemperaturbeständigkeit, Oxidationsbeständigkeit und ITO -Keramikfilm auf, die aus verschiedenen Elektrodenmaterialien bestehen.