Piezoelektrische Filme werden aufgrund ihrer hervorragenden Leistung weit verbreitet. Piezoelektrische dicke Filme können verwendet werden, um eine Vielzahl von Mikrogeräten wie Mikropumpen, Ultraschallmotoren, Resonatoren, pyroelektrische dicke Filmsensoren, dicke Filmaktuatoren, Mikroenergie-Tonabnehmer usw. 1. Hydroph