Hochtemperatur-Dünnfilm-Ultraschallwandler

Eine breite Palette von HochtemperaturdünnfilmUltraschallwandlerwerden eingeführt. Hochtemperaturdünn-Film-Dehnungsmessgeräte und Hochtemperaturdünn-Film-Dehnungsmessgeräte werden für legierte Dünnfilme in einem frühen Stadium zu den empfindlichen Materialien verwendet. Aufgrund unterschiedlicher materieller Eigenschaften und Herstellungsprozesse vonUltraschall -Abstandswandler, Dünnfilm-Dehnungsmessgeräte werden von verschiedenen Legierungen hergestellt, die der Temperatur stark standhalten können. Zum Beispiel können die Dünnschicht-Dünnfilm-Dünnschwere den Testtemperaturen von 600 ° C standhalten. PDCR-Legierung Dünnfilm-Dehnungsstufe können eine maximale Betriebstemperatur des Ultraschallabstandssensors erreichen.

Nach der Optimierung der Prozessparameter können sie bei einer Temperatur von 1 100 ° C verwendet werden. Ni-Craly-Dünnfilm-Dehnungsstreifen können den Temperaturen bis zu 800 ° C standhalten. Piezo -Keramikmaterialien können derzeit höhere Temperaturen standhalten als Legierungen, Piezo -Keramik -Dehnungsmessgeräte umfassen ITO (Indiumzinnoxid) und Tan 2 -Typen. ITO-Dünnfilm-Dehnungsstufe können bei Raumtemperatur von funktionierenUltraschallbereichssensor -DatenblattAber der Dehnungsniveau und die Temperatur haben einen großen Einfluss auf den Variationskoeffizienten, der hauptsächlich durch die Diffusion von Sauerstoff im ITO -Film verursacht wird. Tan-Dünn-Film-Dehnungsmessgeräte können den Temperaturen bis zu 400 ° C standhalten. Prozessparameter haben einen großen Einfluss auf die Mikrostruktur des Ultraschallbereichs von Tan-Dünnfilmen. Der TCR -Temperaturkoeffizient des Widerstands von Piezokeramik und Legierungen ist gegenübereinander gegenüber und kann sich gegenseitig abbrechen.

Gegenwärtig bestehen mehrschichtige Dünnschicht-Dünn-Film-Dehnungsmessgeräte aus Piezokeramik und Legierungen wurden produziert. Tan ist in der Luft über 500 ° C instabil, sodass die Verwendung der Temperatur von Tan/PDCR -Multilayer -Dehnungsanzeigen 500 ° C nicht überschreitet. Das Bariumstrontium -Titanat wird als empfindliches Medium des kapazitiven Ultraschallabstandssensors verwendet, und die PDCR -Elektrode, wenn die Hochtemperatur -Dünnfilm -Dehnungsstufe eine flache Plattenstruktur verwendet und einer hohen Temperatur von 500 ° C standhalten kann.