Thermischer Durchflussmesser -Sensor mit hoher Temperaturdünnfilm

Hochtemperaturdünne Filmflussmesser bestehen im Allgemeinen aus einer Wärmewiderstandsschicht und einer Dünnschicht-Thermometerschicht. Die thermische Widerstandsschicht vonPiezos -Scheiben WandlerNormalerweise verwendet PZT -Material mit einer kleinen thermischen Leitfähigkeit, sodass die Thermometer auf beiden Seiten eine große Temperaturdifferenz erhalten können, wodurch ein stärkeres Signal und eine höhere Empfindlichkeit erhalten werden. Die Dünnschicht -Thermometerschicht ist typischerweise ein Dünnfilm -Thermoelement oder ein Resistenztemperaturwandler. Polyimid hat einen hohen thermischen Widerstand und gute mechanische Eigenschaften. Der thermische Durchflussmeter dünnem Film als Wärmewiderstandsschicht kann unter 400 ° C verwendet werden. Kieselsäure vonpiezoelektrischer Effektsensorhat eine geringe thermische Leitfähigkeit und gute mechanische Eigenschaften. Daher kann dieses thermische Strömungsmesser mit hohem Temperaturdünnfilm bei der Temperatur von 900 ° C als Material der thermischen Widerstandsschicht der meisten thermischen Durchflussmeter mit hohem Temperatur-Dünnfilm verwendet werden. Hochtemperaturdünnfilmströmungsmesser können als RTD- und Wärmewiderstandsschichten Vorläufer -Keramikmaterialien verwenden. Vorläufer-Piezo-Keramik haben eine Hochtemperatur-Wärmedurchflussmesser für die Aero-Engine-Umgebung mit einer Sünde von 250 & mgr; m in der mittleren Wärmeleitschicht. Der thermische Durchflussmesser kann bei den Temperaturen um 1 400 ° C verwendet werden.

Multifunktionale integrierte Dünnfilmsensoren werden in die Hochtemperaturdünnfilmstamm integriertPiezoelektrikumsröhrlerThermometer und Wärmedurchflussmessgeräte. Es ist schwierig, weil die drei Sensoren unterschiedliche Erfassungsprinzipien, unterschiedliche Strukturen und unterschiedliche Größen haben. Ein multifunktional integrierter Dünnfilmsensor wurde entwickelt, um gleichzeitig Dehnung, Temperatur und Wärmefluss zu messen, wobei die PT-Dehnung PT-13RH/PT misst. Thermoelement misst die Temperatur, 2 Schichten unterschiedlicher Dicke der thermischen Wärmewiderstandsschicht mit Aluminiumoxid und 40 Pt -Pt -Thermo -Thermeterpaare bestehen aus einem Thermoelement von -13RH/PT, der den Wärmefluss misst. Um die Arbeitstemperatur von Legierungsmaterialien zu brechen, hat die NASA weiter einen integrierten Dünnfilm-Sensor für multifunktion für braune Piezo-Keramikmaterialien entwickelt.

Daspiezoelektrischer PlattensensorVerwendet einen Abhebungsprozess zum Strukturieren eines Dehnungsfaktors von 3,9, TCR von -93 × 10-6 ℃ -1, einem Widerstand von 259 & mgr; Ωcm, einer scheinbaren Dehnungsempfindlichkeit von -24 × 10-6 ℃ -1. Der TCR von Piezo-Keramikmaterialien und Legierungen ist negativ. Die NASA hat multifunktionale Hochtemperatur-Dünnfilm-Sensoren für Piezokeramik entwickelt. Diesepiezoelektrische Ringe WandlerinZu den Dünnschichts-Dünnschicht-Dünnschwerpunkten, Thermoelementen mit hohem Temperatur-Dünnfilm und thermische Durchflussmesser mit hohem Temperatur-Dünnfilm gehören. Der TCR von PD-13CR ist positiv. Die beiden sind zusammen eine funktionale Schicht, die den TCR positiv und negativ zu einem Teil ausgeht.piezoelektrische Materialien Piezo -RöhrchenübertragungrReduziert den Gesamt -TCR und erhöht damit die Empfindlichkeit. Der multifunktionale Dünnfilmsensor hat Probleme bei der Abbrüche und Diffusion, Kompatibilitätsproblemen des Abblätterungsprozesses und Probleme mit hoher Temperaturexpansion.