Studie zum Schleif- und Polierprozess des Aluminiumoxid -Piezo -Keramik -Substrats

Mit der raschen Entwicklung der optoelektronischen Technologie und der mikroelektronischen Technologie ist sie immer dringender für die ElektronikPiezo -KeramikUnter der harten Umgebung, einschließlich hoher Temperatur, hoher Luftfeuchtigkeit, elektrischer Festigkeit, hoher Strahlungsintensität. Als häufig verwendete Materialien in elektronischer Keramik weist Alzo} Keramik viele hervorragende Eigenschaften auf, z. A1Z03 Ceramics hat große Aufmerksamkeit und Forschung mit einer umfassenden Anwendungsaussicht in den Aspekten der Maschinenelektronik, der elektronischen Leistung, der biologischen Medizin und der Amation erhalten. A1Z03 Ceramic Materials Manufacturing Technology umfasst hauptsächlich die Herstellung der Keramik -Substrat -Technologie und die Keramik -Substratoberfläche der Schneid- und Verarbeitungstechnologie. Die beiden Teile sind für die Bildung und Verwendung eines Substrats unerlässlich, bei dem die Oberfläche der Substratverarbeitungstechnologie die Grundlage und Garantie für die Produktion elektronischer Komponenten ist. Aufgrund von hoher Härte und Sprödigkeit, leicht zu produzierende Risse, schwer zu oberflächenverarbeitung, ist es für das Aizo} -Keramik -Substrat schwierig, die Qualität und Integrität von Oberfläche und Untergrund zu garantieren. Und der Oberflächenprozess von A1Z03 Piezoelektrisch -Keramikmaterial erfordert nicht nur eine hohe dimensionale und Formgenauigkeit, eine geringe Oberflächenrauheit ANC -Integrität, sondern erfordert auch eine ultra -glatte Oberfläche ohne Defekte und schädigt die Anwendung des A1Z03 -Keramik -Substrats. Daher ist es für die Substratmaterial -Präparationstechnologie der Schlüssel- und Entwicklungstrend, ultra glatt und flach von A1Z03 -Keramik -Substrat zu realisieren.

Der Einfluss der Verarbeitungsparameter auf effizientes Ausdünnen und überschwangeres Polieren von A1Z03Piezoceramic -RohrwandlerDas Substrat wurde in diesem Artikel systematisch untersucht. Das systematische Experiment des A1Z03-Keramik-Substrats wurde unter Verwendung der einseitigen und doppelten Schleif- und Poliergeräte durchgeführt. und die Konzentration der Schleifflüssigkeit auf die effiziente Ausdünnung des A1Z03 -Keramik -Substrats wurde analysiert und die Prozessparameter optimiert. Unter der Bedingung der gleichen Prozessparameter wurden die Auswirkungen von einseitigem und doppelseitigem Polieren auf Poliereneffizienz und Oberflächenrauheit von Aizo} -Keramik-Substrat vergleichsweise untersucht. Die Testergebnisse zeigen, dass das einseitige Schleifungs- und Polierverarbeitungsverfahren höher erzielen kannPZT -Material Piezoceramic -WandlerEntfernungseffizienz und bessere Oberfläche. Verarbeitungsqualität.