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Schwierigkeiten bei der Verarbeitung von Aluminiumoxid -Keramik -Substraten

Anzahl Durchsuchen:0     Autor:Site Editor     veröffentlichen Zeit: 2018-09-02      Herkunft:Powered

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AluminiumoxidPiezo -Keramikwerden oft durch heißes Sintern gebildet. Da das Sintern normalerweise Verformungen und Schrumpfungen verursacht, ist es im Allgemeinen erforderlich. Um die dimensionale Genauigkeit und Formgenauigkeit des Werkstücks zu gewährleisten. Aufgrund der allgemeinen Elastizität von Aluminiumoxid -Piezo -Keramikmaterial. Der Elastizitätsmodul ist jedoch ziemlich groß, die Sprödigkeit ist hoch, die Härte ist hoch und die Rissempfindlichkeit ist stark, so Verarbeitung von Brödeln. Einerseits werden die meisten Piezo -Kristallformen durch Aluminiumionen und Sauerstoffionen kovalent gebildet Riss; Seine Härte entspricht der Härte des Carbids, höher als die Härte von Stahl mehrmals, normalerweise hat die Piezo -Keramik mit hoher Reinheit eine Dichte von bis zu 3980 kg/m, eine Zugfestigkeit von 260 MPa, Druckfestigkeit von 2930 MPa und eine Zugfestigkeit von 260 MPa, Druckfestigkeit von 2930 MPA und Ein elastischer Modul von 350 und 400 GPa ist insbesondere eine Härte von 95 HRA. Andererseits ist die Mikrostruktur der Aluminiumoxid -Piezo -Keramik gleiche Körner, eine polykristalline Struktur, die aus kovalenten Bindungen oder ionischen Bindungen besteht wird feine Risse produzieren, und der Riss wird sich schnell ausdehnen und dann wird spröde Fraktur auftreten. Daher ist die spezifische Leistung, dass die Frakturzähigkeit niedrig ist. Unter der Wirkung der externen Belastung verursacht die Spannung das piezoelektrische MaterialPiezoceramic ZylinderDie zu erzeugende Oberfläche. Es treten in Schwungrisse auf, und die Risse dehnen sich schnell aus und tritt eine spröde Fraktur auf. Daher schneidet im Aluminiumoxid -Piezo -Keramik häufig ein Zusammenbruch, dh eine kleine Lücke, die auf der Oberfläche der Piezokeramik liegt. Wenn die Schneidziegelspannung größer ist, wird gleichzeitig der daraus resultierende Zusammenbruch schwerwiegender, was zum gesamten Werkstück führen kann.

Die Aluminiumoxidpiezoelektrisches KeramikmaterialDie in diesem Thema untersuchten Substrate haben die Eigenschaften einer hohen Härte, großer Sprödigkeit, es hat eine herkömmliche Größe von etwa 50 mm x 50 mm, leere Dicke von etwa 1 mm und benötigt schließlich die Rauheit der fertigen Piezo -Keramik -Substrat. Es ist 0,01 m. Während des Schleifprozesses kann die Auswahl der Oberfläche der Substrate uneinheitlich sein, was zu Kratzern führt. Kratzer können dazu führen, dass die Oberflächenrauheit des Werkstücks zunimmt, und auf der Unterseite des Werkstücks können Mikro-Crack-Schäden auftreten, was während der anschließenden Verarbeitung Schäden am Substrat verursacht. In den schweren Fällen kann das Substrat gebrochen werden. Gleichzeitig aufgrund der Existenz von Löchern in der Oberfläche der gesinterten Piezo -Keramik -Substrate und es kann einige Kristallkörner großer Größe geben, ist der unangemessen Die Oberflächenqualität des Substrats. Die Reduzierung dieser Defekte kann in den nachfolgenden feinen Schleifungs- oder Polierprozessen beseitigt werden, die lange Zeit und Mühe dauern oder sogar entfernen können.


AluminiumoxidPZT -MaterialDas Piezoceramic -Rohr -Wandlersubstrat ist eines der am häufigsten verwendeten elektronischen Keramiksubstrate, um seine technischen Bedürfnisse im industriellen Bereich zu erfüllen. In der Anfrage haben inländische und ausländische Wissenschaftler in ihrer mechanischen Verarbeitung viel in der Tiefenforschung durchgeführt. Die Schleifmerkmale der Precision Piezo -Keramik wurden durch eine statistische Konstruktionstestmethode analysiert, und die optimale Kombination von Prozessvariablen wurde bestimmt, um die maximale Verbesserung der Rauheit der Aluminiumoxid -Piezo -Keramikoberfläche zu erzielen. Synthetische Diamant -Schleifmittel mit unterschiedlichen Partikelgrößen wurden verwendet, um die zu mahlenUltraschall kabelgebundene Keramikscheibeunter den unterschiedlichen Druckdrücken produzieren. Es wurde festgestellt, dass der Hauptmechanismus für PZT-Materialentfernung im groben Schleifstadium die Extraktion von Körnern auf der Oberfläche des Piezomaterials und des Mikrokorns zwischen den Körnern war.


Die Quetsch- und feine Schleifstufe ist auf den plastischen Fluss auf der Oberfläche derPiezoceramic -Röhrchen -PiezoelektrikumMaterial, das die Oberflächenqualität verbessert. Durch den diskreten und festen Schleifentest von Aluminiumoxid -Piezo -Keramik -Substraten wurde die Genauigkeit des Piezo -Keramik -Substrats durch die Schleifmethode, die Schleifpartikelgröße, die Konzentration und den Bindungsmitteltyp, die Schleifdruck, die Schleifdiskdrehungsgeschwindigkeit und die Schleifzeit analysiert. Der Einfluss von Oberflächenrauheit und Schleifffizienz zeigt die Analyse, dass die Schleifkorngröße den größten Einfluss auf die Oberflächenrauheit und die Schleifmenge hat. Es ist besser, die Schleifbronze -Bindung und die Schleifscheibe aus Kupfer zu verwenden, und die Oberfläche wird hergestellt. Trapez -Fadenrille, abrasive Konzentration, Schleifscheibengeschwindigkeit, Schleifdruck, Schleifzeit haben auch einen gewissen Einfluss auf die Oberfläche der Rauheit und Schleifmenge. Es muss gemäß den unterschiedlichen Anforderungen an die Oberflächenrauheit und die Genauigkeitsanforderungen ermittelt werden.


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