Empfindliche Materialien sind die Kernkomponenten von Hochtemperaturdünnfilmsensoren. Ihre chemische und elektrische Stabilität hat einen großen Einfluss aufpiezoelektrische Ringe Vibration SensorOb Dünnfilmsensoren in harten Umgebungen verwendet werden können. Die Arten von empfindlichen Materialien, die Mikrostruktur des empfindlichen Materials weist eine eigene Kristallstruktur auf, und die Eigenschaften von freien Trägern werden die Koeffizientenempfindlichkeit des hergestellten Dünnfilmsensors durchgeführt. Im Allgemeinen hat die Legierungsfilm -Dehnungsanzeige den niedrigsten Messgerät, gefolgt von einer Dünnschicht -Dehnungsmesser aus Piezo -Keramikmaterial und dem höchstenpiezoelektrischer Keramikscheibeist eine Halbleiter -Dünnfilm -Dehnungsanzeige.
COeffiziente Empfindlichkeit
Der höhere Dehnungskoeffizient der hohen Temperatur hat eine Dünnfilm -Dehnungsmesser, der höhere Koeffizient der hohen TemperaturPZT -Material Piezoelektrischer Sensorist Dünnfilm -Thermoelement, und der Widerstandskoeffizient mit höherer Temperatur ist der Dünnfilm -RTD, die höhere Empfindlichkeit und je einfacher das Messsignal, aber die Empfindlichkeit des Hochtemperatur -Dünnfilmsensors besteht aus verschiedenen empfindlichen Piezo -Materialien. Die Koeffizienten variieren stark . Die hochtemperaturdünnen Dünnfilm-Dehnungsmessgeräte bestehen aus Hochtemperaturlegierungen im Allgemeinen einen Dehnungskoeffizienten von 1 bis 3 Die von Halbleiter dotierten Dehnungsmessgeräten (100 bis 200), die immer noch nicht hoch genug sind. Der Koeffizient eines Dünnfilm -Thermoelements besteht aus einer Legierung, der Seebeck -Koeffizient eines Dünnfilm -Thermoelements ist aus Piezo -Keramik leicht hoch.
PErfüllung der hohen Temperatur
Empfindliche Materialien tragen die Aufgabe, Signale zu erzeugen, und können begrenzte Temperaturen tolerieren. Wenn die Temperatur eine bestimmte Temperatur von überschreitetultraschallpiezoelektrische KeramiktransduktionrDie Phasenänderung oder sogar knackt das empfindliche Piezo -Material, das die elektrische Leistung beeinflusst und schließlich zum Versagen des Dünnfilmsensors führt. Gegenwärtig kann die Legierung Temperaturen von 1 100 ° C standhalten, und Piezo -Keramik kann Temperaturen von 1 500 ° C standhalten. In den Hochtemperaturanwendungen (z. B. Hochtemperaturflächen von Aeroenginen) hat die Temperatur 1700 ° C überschritten. Heutzutage können Hochtemperatur-Dünnfilm-Sensoren nicht mehr standhalten, um Piezo-Materialien und -Prozesse auszuwählen, die gegen hohe Temperaturen widerstandsfähiger sind und höheren Temperaturensor standhalten können.
MaHerstellungsprozess von empfindlichem Piezo -Material
Piezoelektrische Keramiksensorensind empfindliche Materialien und haben die Eigenschaften von Hochtemperaturbeständigkeit und Oxidationsbeständigkeit. Der Anfangszustand ist flüssig. Nach Lichthärtung oder Thermosettierung bei einer Temperatur von etwa 90 ° C bis etwa 100 ° C beträgt die Temperatur etwa 300 ° C bis 600 ° C. Die Vernetzung wird durchgeführt und der Vorläufer-Piezo-Keramik wird schließlich bei einer Temperatur von etwa 1 000 ° C pyrolysiert. Vorläufer Piezoceramics funktionieren stabil bei Temperaturen über 1 400 ° C, schrumpfen jedoch während der Vernetzung und Pyrolyse, typischerweise um etwa 30%. Hinzufügen von Füllstoffen kann die Schrumpfung verringern. Es gibt reife Prozesse zum Herstellen von Körperteilen mit piezoelektrischen Vorläufer -Vibrationssensor, aber es gibt nur wenige Berichte über ihre Dünnfilm -Strukturierungsprozesse. Es gibt keinen Bericht über den Strukturierungsprozess von PDC-Dünnfilmen auf Nickel-Basis-Legierungen. Daher erfordert die Verwendung von Piezokeramik für die Herstellung Hochtemperatur-Dünnfilmsensoren die Auflösung von Schrumpfung. Es sind Probleme und Strukturierungsprobleme. Durch die Auswahl des richtigen Materials kann der Empfindlichkeitskoeffizient des Hochtemperatur-Dünnfilmsensors verbessert werden. Der Empfindlichkeitskoeffizient des Hochtemperatur-Dünnfilmsensors kann auch verbessert werden, indem die Zusammensetzung des empfindlichen Materials durch Dotieren von multischichtigen sensiblen Materialien geändert wird.
Piezo Hannas (WuHan) Tech Co,.Ltd ist eine professionelle piezoelektrische Keramik- und Ultraschallwandlerhersteller, die sich Ultraschalltechnologie und industriellen Anwendungen widmet.
