Materialsystem von hoher Temetur -Dünnfilm Piezo Keramik

Thermische Durchflussmesser mit hoher Temperaturdünnfilm bestehen im Allgemeinen aus einem thermischen Widerstand400 kHz Piezo -Wandlerund eine Thermometerschicht. Die thermische Leitfähigkeit von zwei Arten von thermischen Widerstandsmaterialien mit unterschiedlichen Dicken, die Dicke einer Piezoschicht beträgt 1 mm und die Dicke der anderen Schicht 2 mm. Wenn es einen Wärmefluss gibt, werden die Temperaturen unter der Wärmewiderstandsschicht T1 bzw. T2 erzeugt. Die thermischen Expansionskoeffizienten der1 MHz piezoelektrisches Materialsind anders. Während des Heizungs- oder Kühlprozesses kann eine thermische Spannung erzeugt werden, so dass die Schichten verschiedener Piezo -Materialien knacken. Das empfindliche Material kann oxidieren und brüten, und somit kann der Dünnfilmsensor versagen. Hochtemperatur-Dehnungsmessgeräte müssen häufig gestreckt werden. Da die Zugfestigkeit von Materialien in verschiedenen Schichten unterschiedlich sind, können die Spannungskonzentration und Risse zwischen dem auftretenpiezoelektrischer EffektsensorWährend des Betriebs und schließlich erzeugen die Dehnungsmessgeräte Messfehler und scheitern sogar. Wenn es einen Dünnfilm-Sensor entwirft, ist es notwendig, den Wärmeleitungskoeffizienten zwischen den Materialien, sogar den Elastizitätsmodul, zu berücksichtigen, so dass die Parameter der benachbarten Piezoschichten so nah wie möglich sind Thermische Fehlanpassung und Zugspannung.