Forschungsstatus von Alumina Piezo Keramikschleife und Poliertechnologie

Der Vergleichstest zwischen A120 gewöhnlichem Schleifen und Ultraschallschleifen wurde unter den verschiedenen Vibrationsmodi durchgeführt. Die primäre und sekundäre Reihenfolge des Einflusses verschiedener Schleifprozessparameter auf die Oberflächenrauheit des Werkstücks wurde untersucht, und die Rotationsgeschwindigkeit, die Futterrate, die Schleifiefee und die Generator der Werkstücksrehzahl wurden analysiert. Der Einfluss verschiedenerPiezo -Keramiksensorwie Kraft auf die Oberflächenrauheit. Die Vergleichstestergebnisse zeigen, dass Ultraschallvibrationsschleifen eine effiziente Verarbeitungsmethode für harte und spröde Materialien wie Piezokeramik sind. Durch den Ultraschall -Schleif- und mechanischen Mahlen -Vergleichstest der Piezokeramik wurde der Einfluss verschiedener Verarbeitungsparameter auf die Schleifoberflächenqualität untersucht. Studien haben gezeigt, dass die Ultraschallvibrationsrichtung, wenn die Ultraschallschwingungsrichtung parallel zur Kriechsempfratsrichtung ist, senkrecht zur Kriechsempfeinrichtung reduziert werden kann Die ultraschallige Schleifverarbeitung, in welchem ​​Modus die Oberflächenqualität, eine niedrigere Vorschubgeschwindigkeit, eine geringere Schleifentiefe, eine angemessen hohe Schleifgeschwindigkeit und eine Verbindungs ​​-Feed -Schleifmethode verbessert werden sollen.

Die Beziehung zwischen der Oberflächenrauheit der Piezokeramik und ihrer Mikrostruktur wurde untersucht, indem die Variation der Oberflächenrauheit der Piezokeramik nach vier verschiedenen Mikrostrukturen untersucht wurde. dasHifu Piezoelektrisches ElementMaterial. Im Allgemeinen ist die kleinere Schleifkorngröße und die Piezo -Keramikgröße, desto höher ist die Oberflächenrauheit. Wenn die Schleifpartikelgröße auf das gleiche Niveau wie die Keramikkorngröße fällt. Der Schlüsselfaktor besteht darin, die Oberflächenrauheit des Piezo -Keramikmaterials zu bestimmen, die Größe und Anzahl der Poren auf der Oberfläche des Materials. Das dichtere Material ist desto höher die Genauigkeit der Oberflächenrauheit nach der Verarbeitung. Der Leistungs- und Entfernungsmechanismus der hochreinigen Aluminiumoxid-Piezo-Keramik wurde untersucht. Die Präzisionsschleifversuche mit hoher Purity-Aluminiumoxid-Piezo-Keramik wurden durch Schleifmaschine durchgeführt.

Die kugelförmige Oberflächenverarbeitungsmethode und die Verarbeitung von Aluminiumoxid -Piezo -Keramik mit hoher Reinheit wurden verifiziert. Der Effekt wird erreicht, indem hochreines Aluminiumoxid-Piezo-Keramik fertiggestellt wird. Der Prozessfluss der ultra-Präzisionsbearbeitung von 700-mm-Piezo-Keramikführer wurde vorgestellt. Die Prozessmethode der Parameter- und Erkennungsmethode des Leitschienenschienenpolierens durch Ultra-Präzisionshandbuchschleif- und Poliermaschine, die von uns selbst entwickelt wurden, wurden detailliert und die optische Verarbeitung derPZT -MaterialDie piezoelektrische Keramik -Führungsschiene wurde realisiert. Der maximale Peak Valley -Wert des Formfehlers beträgt 0,78 und der RMS -Wert des Oberflächenfehlers.

Ein einzelnes und zweiseitiges Schleifungs- und Polierversuche wurden auf Aluminiumoxid durchgeführtAkustische piezoelektrische RöhrchenSubstrate diskutieren hauptsächlich die Verarbeitungsparameter wie Schleifart, abrasive Partikelgröße, Schleifdruck, Schleifdrehzahl, Schlammdurchflussrate und abrasive Konzentration von abrasiven Flüssigkeit bei verschiedenen Verarbeitungsmethoden. Der Einfluss des Materials hat die Entfernungsrate, die Oberflächenrauheit und die Oberflächentopographie analysiert. Der Materialentfernungsmechanismus wurde analysiert. Durch die Optimierung des Schleifungs- und Polierprozesses wurde eine glatte Oberfläche mit Nanometeroberflächenrauheit erhalten.